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    基于MAU和DCC的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法與流程

    作者:CEO 時(shí)間:2023-03-10

    信息摘要:本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù),尤其涉及一種基于mau和dcc的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法。背景技術(shù):半導(dǎo)體技術(shù)產(chǎn)品生產(chǎn)工序困難、復(fù)雜,并且其工藝生產(chǎn)設(shè)備先進(jìn)、昂貴,對(duì)于其制造環(huán)境的參數(shù),諸如、溫度、相對(duì)濕度、壓力、潔凈度、氣流流型等參數(shù)的要求控制在某個(gè)恒定的范圍

    基于MAU和DCC的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法與流程

    基于MAU和DCC的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法與流程

      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù),尤其涉及一種基于mau和dcc的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法。

      背景技術(shù):

      半導(dǎo)體技術(shù)產(chǎn)品生產(chǎn)工序困難、復(fù)雜,并且其工藝生產(chǎn)設(shè)備先進(jìn)、昂貴,對(duì)于其制造環(huán)境的參數(shù),諸如、溫度、相對(duì)濕度、壓力、潔凈度、氣流流型等參數(shù)的要求控制在某個(gè)恒定的范圍內(nèi),上述參數(shù)的穩(wěn)定則是生產(chǎn)設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)、高效率、高質(zhì)量半導(dǎo)體產(chǎn)品持續(xù)運(yùn)營(yíng)的成功保障。

      在上述參數(shù)控制中溫度、相對(duì)濕度參數(shù)的控制尤為困難,通常潔凈室要求溫度控制在23℃、相對(duì)濕度45%,并保證一定的控制精度,但實(shí)際上由于溫度、相對(duì)濕度之間存在一定的耦合現(xiàn)象,即在絕對(duì)含濕量不變的情況下,溫度升高、相對(duì)濕度減少,而溫度降低、相對(duì)濕度增加;基于此,在實(shí)施例中,采用以潔凈室要求的溫度、相對(duì)濕度計(jì)算出的露點(diǎn)溫度為目標(biāo)控制值,進(jìn)而通過(guò)dcc干盤(pán)管實(shí)現(xiàn)溫度的控制,避免由于兩者耦合、過(guò)程精度控制不夠嚴(yán)格帶來(lái)處理過(guò)程中冷熱量相互抵消的現(xiàn)象,造成能源的極大浪費(fèi)。因此,亟需一種適用于半導(dǎo)體潔凈室精確易控的恒溫恒濕系統(tǒng)義。

      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明的目的在于提供基于mau和dcc的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng)和控制方法,其能解決上述問(wèn)題。

      一種基于mau和dcc的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)包括mau室外新風(fēng)濕度處理單元、dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元以及中控單元,所述mau室外新風(fēng)濕度處理單元和dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元與所述中控單元雙向電訊連接,其中mau室外新風(fēng)濕度處理單元包括依次設(shè)置的初效過(guò)濾段、前中效過(guò)濾段、預(yù)熱段、第一表冷段、加濕段、第二表冷段、再熱段、風(fēng)機(jī)段、后中效過(guò)濾段和高效過(guò)濾段,并在所述mau室外新風(fēng)濕度處理單元上設(shè)置焓值傳感器h、溫度傳感器t、壓差開(kāi)關(guān)p和電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v;dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元包括dcc干盤(pán)管和電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v;中控單元通過(guò)信號(hào)控制線與壓差開(kāi)關(guān)p、溫濕度傳感器t、焓值傳感器h、電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v通過(guò)信號(hào)控制線連接,并根據(jù)外接環(huán)境調(diào)節(jié)控制以向潔凈室輸送符合溫濕度需求空氣。

      優(yōu)選的,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的第一表冷段和加濕段之間設(shè)置所述焓值傳感器h。

      優(yōu)選的,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的第一表冷段和高效過(guò)濾段上設(shè)置溫濕度傳感器t。

      優(yōu)選的,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的初效過(guò)濾段和前中效過(guò)濾段之間、風(fēng)機(jī)段和后中效過(guò)濾段之間、以及后中效過(guò)濾段和高效過(guò)濾段之間設(shè)置壓差開(kāi)關(guān)p。

      壓差開(kāi)關(guān)p具有現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)和遠(yuǎn)傳功能,實(shí)現(xiàn)對(duì)初中、高效過(guò)濾器的壓差檢測(cè),為其更換提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù)參考。

      優(yōu)選的,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的預(yù)熱段上設(shè)置第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1,在第一表冷段上設(shè)置第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2,在再熱段上設(shè)置第三電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v3,在第二表冷段上設(shè)置第四電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v4。

      優(yōu)選的,各電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v采用具有線性調(diào)節(jié)特性的座閥調(diào)節(jié)閥。所述座閥調(diào)節(jié)閥具有線性調(diào)節(jié)特性、良好的調(diào)節(jié)能力和調(diào)節(jié)精度。

      優(yōu)選的,所述加濕段采用噴淋加濕方式實(shí)現(xiàn),噴淋加濕主機(jī)處于常開(kāi)狀態(tài),在夏季及過(guò)渡季洗滌空氣,在冬季噴溫水且等焓加濕或增焓加濕。

      采用上述恒溫恒濕控制系統(tǒng)的控制方法,方法包括以下內(nèi)容。

      室內(nèi)參數(shù)動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè),中控單元與壓差開(kāi)關(guān)p、溫濕度傳感器t、焓值傳感器h、電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v通過(guò)信號(hào)控制線連接,以實(shí)時(shí)獲取潔凈室內(nèi)的溫度和相對(duì)濕度值。

      繪制焓濕圖,根據(jù)室內(nèi)溫濕度參數(shù)需求在焓濕圖上按照等焓線和等含濕量線劃分成四個(gè)氣象分區(qū)、即空調(diào)工況區(qū),其中空調(diào)工況i區(qū)為增溫加濕工況、空調(diào)工況ii區(qū)為冷卻加濕工況、空調(diào)工況iii區(qū)和空調(diào)工況iv區(qū)為冷卻除濕工況,且空調(diào)工況ii、iii、iv區(qū)均實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣的洗滌??照{(diào)工況對(duì)應(yīng)不同外界環(huán)境實(shí)現(xiàn)室內(nèi)溫濕度需求控制;針對(duì)不同的氣象分區(qū)采用不同的空氣處理方式和控制方法,從而降低空調(diào)系統(tǒng)的運(yùn)行能耗。

      mau空調(diào)箱以室內(nèi)需求的溫度、相對(duì)濕度計(jì)算得出的露點(diǎn)溫度為目標(biāo)值,根據(jù)空調(diào)工況對(duì)應(yīng)不同外接環(huán)境,對(duì)室外新風(fēng)參數(shù)進(jìn)行控制,進(jìn)而與經(jīng)過(guò)dcc處理的回風(fēng)進(jìn)行混合,從而達(dá)到潔凈室要求的室內(nèi)溫濕度指標(biāo)。

      優(yōu)選的,當(dāng)外界環(huán)境空氣處于空調(diào)工況i區(qū)時(shí),對(duì)室外空氣進(jìn)行升溫加濕處理:關(guān)閉第一表冷段的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2、再熱段上的第三電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v3,打開(kāi)預(yù)熱段上的第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1、加濕段處溫水噴淋加濕主機(jī),根據(jù)加濕段前的焓值傳感器h的焓值控制預(yù)熱段上第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1的開(kāi)度,通過(guò)高效過(guò)濾段下游出風(fēng)段的溫濕度傳感器t溫度設(shè)定值控制再熱段處第三電動(dòng)調(diào)節(jié)v3的開(kāi)度,進(jìn)而使達(dá)到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時(shí)與經(jīng)dcc干盤(pán)管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

      優(yōu)選的,當(dāng)外界環(huán)境空氣處于空調(diào)工況ii區(qū)時(shí),對(duì)室外空氣進(jìn)行冷卻加濕處理:關(guān)閉預(yù)熱段上的第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1,打開(kāi)第一表冷段的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2以及加濕段處的噴淋加濕主機(jī),根加濕段前的焓值傳感器h的焓值控制第一表冷段的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2的開(kāi)度,避免開(kāi)度過(guò)小、呈現(xiàn)空氣過(guò)熱的現(xiàn)象,導(dǎo)致室外新風(fēng)經(jīng)過(guò)噴淋加濕后出現(xiàn)過(guò)濕的現(xiàn)象(以期經(jīng)過(guò)噴淋加濕后空氣的露點(diǎn)溫度達(dá)到目標(biāo)值),尚需再進(jìn)行冷卻除濕處理,造成能源的極度浪費(fèi);進(jìn)而通過(guò)高效過(guò)濾段下游出風(fēng)段的溫濕度傳感器t溫度設(shè)定值控制再熱段處第三電動(dòng)調(diào)節(jié)v3的開(kāi)度,進(jìn)而使達(dá)到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時(shí)與經(jīng)dcc干盤(pán)管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

      優(yōu)選的,當(dāng)外界環(huán)境空氣處在空調(diào)工況iii區(qū)和空調(diào)工況iv區(qū)時(shí),對(duì)室外空氣需進(jìn)行冷卻除濕處理:關(guān)閉預(yù)熱段的第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1,打開(kāi)第一表冷段的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2、第二表冷段上的第四電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v4、以及加濕段處的噴淋加濕主機(jī),根據(jù)第一表冷段處表冷盤(pán)管后的設(shè)定溫度調(diào)整第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2的開(kāi)度,利用中溫冷凍水降低被處理空氣的溫度、含濕量,再通過(guò)加濕段處噴淋室對(duì)空氣的洗滌、凈化,根據(jù)送風(fēng)露點(diǎn)調(diào)節(jié)內(nèi)有低溫冷凍水的第二表冷段處第四電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v4開(kāi)度,進(jìn)而使達(dá)到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時(shí)與經(jīng)dcc干盤(pán)管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

      優(yōu)選的,室內(nèi)溫濕度需求控制全年以送風(fēng)露點(diǎn)值作為控制目標(biāo)值表征的濕度進(jìn)行優(yōu)先控制,其中,送風(fēng)露點(diǎn)的確定和修正公式為:

      其中:td為室外空氣在t溫度下、f相對(duì)濕度下的露點(diǎn)溫度;

      e=es*f*0.01,e為t℃空氣在f%相對(duì)濕度下的水蒸氣壓力pa,es為t℃空氣在水面t>0℃或冰面t≤0℃的飽和水蒸氣壓力pa;

      e0為0℃空氣的飽和水蒸氣的分壓力,a、b為系數(shù),t>0℃時(shí),取水面值a=7.5、b=237.3;t≤0℃時(shí),取水面值a=9.5、b=265.5。

      相比現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明的有益效果在于:控制系統(tǒng)通過(guò)設(shè)置不同的傳感器和調(diào)節(jié)閥進(jìn)行信號(hào)實(shí)時(shí)采集和控制,mau空調(diào)箱以室內(nèi)需求的溫度、相對(duì)濕度計(jì)算得出的露點(diǎn)溫度為目標(biāo)值對(duì)室外新風(fēng)參數(shù)進(jìn)行精準(zhǔn)控制,進(jìn)而與經(jīng)過(guò)dcc處理的回風(fēng)進(jìn)行混合,從而達(dá)到潔凈室要求的溫濕度指標(biāo);系統(tǒng)和方法具有較高的控制精度和節(jié)能性、控制邏輯清晰、工程項(xiàng)目的實(shí)用性強(qiáng),能夠很好的解決半導(dǎo)體潔凈室經(jīng)常出現(xiàn)的控制精度不夠而產(chǎn)生的冷熱抵消問(wèn)題。

      附圖說(shuō)明

      圖1為本發(fā)明實(shí)施例中mau室外新風(fēng)濕度處理單元結(jié)構(gòu)圖;

      圖2為本發(fā)明涉及實(shí)施例中室外新風(fēng)在焓濕圖上空調(diào)分區(qū)示意圖。

      圖中:1、初效過(guò)濾段;2、前中效過(guò)濾段;3、預(yù)熱段;4、第一表冷段;5、加濕段;6、第二表冷段;7、再熱段;8、風(fēng)機(jī)段;9、后中效過(guò)濾段;10、高效過(guò)濾段;v1/v2/v3/v4、電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥;p、壓差開(kāi)關(guān);t、溫濕度傳感器;h、焓值傳感器。

      具體實(shí)施方式

      為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

      一種基于mau和dcc的半導(dǎo)體潔凈室恒溫恒濕控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)包括mau室外新風(fēng)濕度處理單元、dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元以及中控單元,所述mau室外新風(fēng)濕度處理單元和dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元與所述中控單元雙向電訊連接。

      參見(jiàn)圖1,其中mau室外新風(fēng)濕度處理單元包括依次設(shè)置的初效過(guò)濾段1、前中效過(guò)濾段2、預(yù)熱段3、第一表冷段4、加濕段5、第二表冷段6、再熱段7、風(fēng)機(jī)段8、后中效過(guò)濾段9和高效過(guò)濾段10,初效過(guò)濾段1的前端或上游為進(jìn)風(fēng)段,高效過(guò)濾段10的后端或下游為出風(fēng)段,圖中箭頭表述氣流方向。

      進(jìn)一步的,在所述mau室外新風(fēng)濕度處理單元上設(shè)置焓值傳感器h、溫度傳感器t、壓差開(kāi)關(guān)p和電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v。

      圖未示的,dcc室內(nèi)回風(fēng)溫度處理單元包括dcc干盤(pán)管和電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v。

      參見(jiàn)圖1,一個(gè)實(shí)施例中,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的預(yù)熱段3上設(shè)置第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1,在第一表冷段4上設(shè)置第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2,在再熱段7上設(shè)置第三電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v3,在第二表冷段6上設(shè)置第四電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v4。

      具體實(shí)施例中,各電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v采用但不限于具有線性調(diào)節(jié)特性的座閥調(diào)節(jié)閥。所述座閥調(diào)節(jié)閥具有線性調(diào)節(jié)特性、良好的調(diào)節(jié)能力和調(diào)節(jié)精度。

      中控單元通過(guò)信號(hào)控制線與壓差開(kāi)關(guān)p、溫濕度傳感器t、焓值傳感器h、電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v通過(guò)信號(hào)控制線連接,并根據(jù)外接環(huán)境調(diào)節(jié)控制以向潔凈室輸送符合溫濕度需求空氣。

      其中,在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的第一表冷段4和加濕段5之間設(shè)置所述焓值傳感器h,在冬季實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的焓值控制,避免預(yù)熱段3處第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1開(kāi)度過(guò)大導(dǎo)致空氣過(guò)熱。在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的第一表冷段4和高效過(guò)濾段10上設(shè)置溫濕度傳感器t,通過(guò)溫濕度傳感器t的數(shù)據(jù)采集,在冬季,mau空調(diào)箱停止運(yùn)行時(shí),防止盤(pán)管凍裂;在其他季節(jié)實(shí)現(xiàn)對(duì)表冷盤(pán)管處第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2的調(diào)節(jié)。在mau室外新風(fēng)濕度處理單元的初效過(guò)濾段1和前中效過(guò)濾段2之間、風(fēng)機(jī)段8和后中效過(guò)濾段9之間、以及后中效過(guò)濾段9和高效過(guò)濾段10之間設(shè)置壓差開(kāi)關(guān)p。

      其中,壓差開(kāi)關(guān)p具有現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)和遠(yuǎn)傳功能,實(shí)現(xiàn)對(duì)初中、高效過(guò)濾器的壓差檢測(cè),為其更換提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù)參考。

      進(jìn)一步的,加濕段5采用噴淋加濕方式實(shí)現(xiàn),噴淋加濕主機(jī)處于常開(kāi)狀態(tài),在夏季及過(guò)渡季洗滌空氣,在冬季噴溫水且等焓加濕或增焓加濕。

      采用上述恒溫恒濕控制系統(tǒng)的控制方法,方法包括以下內(nèi)容。

      室內(nèi)參數(shù)動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè),中控單元與壓差開(kāi)關(guān)p、溫濕度傳感器t、焓值傳感器h、電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v通過(guò)信號(hào)控制線連接,以實(shí)時(shí)獲取潔凈室內(nèi)的溫度和相對(duì)濕度值。

      繪制焓濕圖,參見(jiàn)圖2,根據(jù)室內(nèi)溫濕度參數(shù)需求在焓濕圖上按照等焓線和等含濕量線劃分成四個(gè)氣象分區(qū)、即空調(diào)工況區(qū),其中空調(diào)工況i區(qū)為增溫加濕工況、空調(diào)工況ii區(qū)為冷卻加濕工況、空調(diào)工況iii區(qū)和空調(diào)工況iv區(qū)為冷卻除濕工況,空調(diào)工況對(duì)應(yīng)不同外界環(huán)境實(shí)現(xiàn)室內(nèi)溫濕度需求控制;適宜的分區(qū)即避免了分區(qū)過(guò)多造成傳感器等數(shù)據(jù)采集設(shè)備的增加帶來(lái)初投資的增加、又避免了分區(qū)過(guò)少而出現(xiàn)冷熱抵消的現(xiàn)象。

      其中,等焓線作為冬夏季轉(zhuǎn)換的分界線,等含濕量線作為噴淋加濕、洗滌空氣的分界線。

      針對(duì)不同的氣象分區(qū)采用不同的空氣處理方式和控制方法,從而降低空調(diào)系統(tǒng)的運(yùn)行能耗。

      mau空調(diào)箱以室內(nèi)需求的溫度、相對(duì)濕度計(jì)算得出的露點(diǎn)溫度為目標(biāo)值,根據(jù)空調(diào)工況對(duì)應(yīng)不同外接環(huán)境,對(duì)室外新風(fēng)參數(shù)進(jìn)行控制,進(jìn)而與經(jīng)過(guò)dcc處理的回風(fēng)進(jìn)行混合,從而達(dá)到潔凈室要求的室內(nèi)溫濕度指標(biāo)。

      具體的,當(dāng)外界環(huán)境空氣處于空調(diào)工況i區(qū)時(shí),對(duì)室外空氣進(jìn)行升溫加濕處理:關(guān)閉第一表冷段4的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2、再熱段7上的第三電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v3,打開(kāi)預(yù)熱段3上的第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1、加濕段5處溫水噴淋加濕主機(jī),根據(jù)加濕段5前的焓值傳感器h的焓值控制預(yù)熱段3上第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1的開(kāi)度,通過(guò)高效過(guò)濾段10下游出風(fēng)段的溫濕度傳感器t溫度設(shè)定值控制再熱段7處第三電動(dòng)調(diào)節(jié)v3的開(kāi)度,進(jìn)而使達(dá)到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時(shí)與經(jīng)dcc干盤(pán)管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

      當(dāng)外界環(huán)境空氣處于空調(diào)工況ii區(qū)時(shí),對(duì)室外空氣進(jìn)行冷卻加濕處理:關(guān)閉預(yù)熱段3上的第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1,打開(kāi)第一表冷段4的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2以及加濕段5處的噴淋加濕主機(jī),根加濕段5前的焓值傳感器h的焓值控制第一表冷段4的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2的開(kāi)度,避免開(kāi)度過(guò)小、呈現(xiàn)空氣過(guò)熱的現(xiàn)象,導(dǎo)致室外新風(fēng)經(jīng)過(guò)噴淋加濕后出現(xiàn)過(guò)濕的現(xiàn)象(以期經(jīng)過(guò)噴淋加濕后空氣的露點(diǎn)溫度達(dá)到目標(biāo)值),尚需再進(jìn)行冷卻除濕處理,造成能源的極度浪費(fèi);進(jìn)而通過(guò)高效過(guò)濾段10下游出風(fēng)段的溫濕度傳感器t溫度設(shè)定值控制再熱段7處第三電動(dòng)調(diào)節(jié)v3的開(kāi)度,進(jìn)而使達(dá)到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時(shí)與經(jīng)dcc干盤(pán)管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

      當(dāng)外界環(huán)境空氣處在空調(diào)工況iii區(qū)和空調(diào)工況iv區(qū)時(shí),對(duì)室外空氣需進(jìn)行冷卻除濕處理:關(guān)閉預(yù)熱段3的第一電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v1,打開(kāi)第一表冷段4的第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2、第二表冷段6上的第四電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v4、以及加濕段5處的噴淋加濕主機(jī),根據(jù)第一表冷段4處表冷盤(pán)管后的設(shè)定溫度設(shè)定,優(yōu)選為16-18℃,調(diào)整第二電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v2的開(kāi)度,利用中溫冷凍水降低被處理空氣的溫度、含濕量,再通過(guò)加濕段5處噴淋室對(duì)空氣的洗滌、凈化,根據(jù)送風(fēng)露點(diǎn)調(diào)節(jié)內(nèi)有低溫冷凍水的第二表冷段6處第四電動(dòng)調(diào)節(jié)水閥v4開(kāi)度,進(jìn)而使達(dá)到目標(biāo)參數(shù)的新風(fēng)送至潔凈室回風(fēng)夾道底部時(shí)與經(jīng)dcc干盤(pán)管處理后的回風(fēng)均勻混合送至潔凈室。

      進(jìn)一步的,室內(nèi)溫濕度需求控制全年以送風(fēng)露點(diǎn)值作為控制目標(biāo)值表征的濕度進(jìn)行優(yōu)先控制,其中,送風(fēng)露點(diǎn)的確定和修正公式為:

      其中:td為室外空氣在t溫度下、f相對(duì)濕度下的露點(diǎn)溫度;

      e=es*f*0.01,e為t℃空氣在f%相對(duì)濕度下的水蒸氣壓力pa,es為t℃空氣在水面t>0℃或冰面t≤0℃的飽和水蒸氣壓力pa;

      e0為0℃空氣的飽和水蒸氣的分壓力,a、b為系數(shù),t>0℃時(shí),取水面值a=7.5、b=237.3;t≤0℃時(shí),取水面值a=9.5、b=265.5。

      其中,溫冷凍水的能效要低于中溫冷凍水的能效,因此通過(guò)ai算法和控制策略的調(diào)整可以最大程度的實(shí)現(xiàn)空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能。

      進(jìn)一步的,噴淋加濕主機(jī)常年開(kāi)啟,在冬季實(shí)現(xiàn)等焓(增焓)加濕的功能、其余季節(jié)實(shí)現(xiàn)洗滌空氣的作用。

      最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案,而非對(duì)其限制;盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改或者替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。

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