轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室

轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室

　　空氣除濕主要有四種方式，通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中，冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環(huán)境對(duì)濕度要求不是很高(RH≯60～65%)的條件下，效果還是比較好，性能穩(wěn)定且能耗也比較低，目前應(yīng)用比較廣泛。但在生產(chǎn)環(huán)境對(duì)濕度要求較高(RH=45±5%)的地方，采用冷卻除濕就明顯是不經(jīng)濟(jì)的。采用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)，將不受空氣^***影響，且除濕量大，特別適用于低濕條件下，但如果全部除濕僅采用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行，由于其耗能量也比較大，此種方案也不是經(jīng)濟(jì)的。由于轉(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長(zhǎng)，將其優(yōu)化組合，各取所長(zhǎng)，互補(bǔ)所短，會(huì)的發(fā)揮其效能。濕度在半導(dǎo)體行業(yè)中的要求半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下，生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境，特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求，由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的......閱讀全文